氦质谱检漏法是运用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，完结被检件的氦泄露量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄露出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性辨认能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。
根据检漏进程中的示漏气体存贮方位与被检件的联系不同，可以将氦质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法，以下总结了这四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。
氦质谱检漏-正压法，正压法首要应用于大容积高压密闭容器产品的检漏，如高压氦气瓶、舱门检漏仪等。正压法是不需求辅佐的真空系统，可以精确定位，完结任何作业压力下的检测。可是该方法检测灵敏度较低，检测效果不确定度大，受测量环境条件影响大。
选用正压法检漏时，需对被检产品内部密封室充入高于一个大气压力的氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通孔漏孔进入被检表面面的周围大气环境中，再选用吸枪的方法检测被检产品周围大气环境中的氦气浓度增量，然后完结被检产品泄露测量。按照搜集氦气方法的不同，又可以将正压法分为正压吸枪法和正压累积法。其间正压吸枪法选用检漏仪吸枪对被检产品表面面进行扫描探查，可以完结漏孔的精确定位； 正压累积法选用有必定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，选用检漏仪吸枪测量必定时间段前后的氦罩内氦气浓度改变量，完结被检产品总漏率的精确测量。
氦质谱检漏-背压法，背压法的检漏首要应用于各种电子元器件产品检漏。该方法检测灵敏度高，能完结小型密封容器产品的泄露检测，可以进行批量化检测。可是不能进行大型密封容器的漏，不然由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完结后还需求选用其它方法进行粗检，扫除大漏的或许。
选用背压法检漏时，首要将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，假如被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的剩下氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄露到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，然后完结被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需求通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。
氦质谱检漏-真空法，真空法首要应用于真空密封功能要求，但不带压作业的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。真空法检测灵敏度高，可以精确定位，能完结大容器或凌乱结构产品的检漏。可是只能完结一个大气压差的漏率检测，不能精确反映带压被检产品的真实泄露情况。
选用真空法检漏时，需求运用辅佐真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，选用氦罩或喷吹的方法在被检产品表面面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，然后完结被检产品泄露量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。其间真空喷吹法选用喷枪的方法向被检产品表面面喷吹氦气，可以完结漏孔的精确定位； 真空氦罩法选用有必定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充溢必定浓度的氦气，可以完结被检产品总漏率的测量。
氦质谱检漏-真空压力法，真空压力法首要应用于结构简略、压力不是特别高的密封产品，如电磁阀、高压充气管道、推进剂贮箱、天线、应答机、整星产品等。该方法检测灵敏度高，能完结任何作业压力的漏率检测，反映被检件的真实泄露情况。可是这种检漏系统凌乱，需求根据被检产品的容积和形状规划真空密封室，在检漏进程要求保证充气管道接口无泄露，或者采取特别的结构规划将全部充气管道联接接口放置在真空密封室外部。
选用真空压力法检漏时，需求将被检产品整体放入真空密封室内，真空密封室与辅佐抽暇系统和检漏仪相连，被检产品的充气接口通过联接管道引出真空密封室后，再与氦气源相连，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入真空密封室，再进入氦质谱检漏仪，然后完结被检产品总漏率的测量。
