1.气相色谱法
气相色谱法适用于氢气、氧气、氮气、氩气、氦气、一氧化碳、二氧化碳等无机气体，甲烷、乙烷、丙烯及C3以上的绝大部分有机气体的剖析。气相色谱仪主要由气路系统、进样系统、柱恒温箱、色谱柱、检测器和数据处理系统等组成。 用气相色谱法剖析规范气体，要想获得精确可靠的剖析成果，首先必须树立剖析办法，挑选合适的操作条件和操作技术。
2.微量氧剖析仪
微量氧剖析仪：在高纯气体的剖析中，几乎一切的高纯气体中都要求精确测定其中微量氧的含量。由于大气中含有大量的（21%）氧，精确测定高纯气体中微量氧乃至痕量氧，是气体剖析中的难点之一。
3.化学发光法
化学发光法是使用某些化学反应所产生的发光现象对组分进行剖析的办法，具有灵敏度高，挑选性好，使用简单办法、快速等特色。适用硫化物、氮氧化物、氨等规范气体的剖析。
4.微量水剖析仪
微量水分也是评价高纯气体质量的主要目标之一。几乎一切的高纯气体都对水分有严厉的要求，精确丈量和严厉控制高纯气体中水分含量，才干确保高纯气体的质量。
5.非色散红外剖析法
非色散红外气体剖析器是使用不同的气室和检测器丈量混合气体中的一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫、氨、甲烷、乙烷、丙烷、丁烷、乙炔等组分的含量。非色散红外气体剖析器主要由红外光源、试样室、滤波器、斩波器、检测器、放大器及数据显示装置组成。
