1、VCR衔接
高纯气体管道与阀门等附件衔接应选用密封不易走漏的专用接头予以衔接，常用的接头方式有两种：分别为VCR(Vacuum Coupling Retainer)和SWG(Swaglok)，VCR选用优秀的金属垫，利用纵向压力压紧，因而走漏率极低，约为10～9A cc/s，且耐压较高，常用于气体杂质含量1.0×10-9级的高纯气输送体系，而SWG则不如VCR，耐压较低，基本上这两种接头方式的安全性足可替代焊接的方式。
2、法兰衔接
管道与设备、管道与阀门的衔接，在一些要求不高的气体管道能够选用法兰衔接，垫片运用软金属垫片或聚四氟乙烯垫片。因为石棉会产生粉尘而橡胶的透气性大和吸水性强并且简单老化，所以不选用石棉垫片或橡胶整片。
外表密封衔接件衔接
法兰衔接时气体和密封资料接触面大，外表磨损也较大，所以关于高纯气体管道不选用法兰衔接。大多选用外表密封衔接件，绝大多数选用V CR密封件方式。V C R衔接方式气体不接触密封资料，流转外表几乎没有磨损，它是纵向压力进行压紧，选用质量优秀的金属垫，便能够做到很好的密封不泄露、污染少，因而得到广泛选用。选用时做到衔接件资料与主管资料共同，内外表光洁等级共同。
3、螺纹衔接
螺纹衔接对大宗气体，且纯度要求不高的气体管道，当选用镀锌钢管时，选用螺纹衔接。螺纹衔接的密封资料选用聚四氟乙烯密封带，不得选用传统的油麻。密封带环绕要妥当。不能环绕的太厚、过长，环绕太厚或环绕过多超出管螺纹端头坡口的话，在螺纹旋紧时，密封带会被丝咬切下，落人管道内构成较大的污染物，因而端口螺纹从坡口始，留出2-3个凸牙不环绕密封带是必要的。
4、焊接
焊接衔接管道焊接衔接，能够选用对接焊、承插焊或套管式接。
对接焊
关于要求纯度很高的管道，选用内壁无瘢痕的对接焊。高纯氩气维护焊。
承插焊
关于纯度要求相对低一些的管道能够选用承插焊或套管焊，承插焊因为气体残留空间比较大。
套管焊接
吹净比较困难，现在比较多的选用套管焊接。套管焊接应使套管和主管具有平等资料和内外表等级，结合部的间隙不能过大，堆叠部分也不宜过长，较为合适的堆叠长度在5mm内。套管内管加工时，应使主管过盈，这样主管被套管紧紧包裹后施焊，焊渣不会落人管内。并且气体死空间也小，简单吹净。
